蔡司工业CT Xradia 520 Versa X射线显微镜（XRM）可以对物体内部进行无损观察。 X射线显微镜使用X射线辐射产生被检查物体的放大图像。蔡司Xradia XRM的独特之处在于它结合了几何放大率和光学放大率，因此可以对较大的样品进行成像并在现场安装。
X射线显微镜还用于X射线计算机断层扫描（XCT）中，其中从不同角度拍摄大量X射线图像，以生成扫描对象的横截面（断层扫描）图像/切片。蔡司Xradia XRM的主要优点是：
3D无损成像
虚拟横截面
不透明样品的地下内部层析成像
多尺度
定量分析，尤其是各向异性或非均匀特征的定量分析
测得的微观结构作为数值建模的输入
原位和4D实验
与其他陈述相辅相成
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